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8.5代TFT行业水处理回收系统工艺研究

作者:顾林 陈炜彧

单位:江苏中电创新环境科技有限公司

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文章通过调研多个8.5代TFT行业的纯水项目,对8.5代TFT行业回收水水质和处理工艺进行分析、归纳,总结了不同类型回收水的不同处理工艺和工艺选择。
DOI:
10.13535/j.cnki.10-1507/n.2021.10.60
关键词:
Array
所属期刊栏目:
能源环保
分类号:
X76
页码:
138-139
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